海德漢的光刻測量技術與感應式測量技術

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  光柵尺作為位置測量儀器被廣泛地應用在機床、傳送設備、工業自動化和測量檢測設備領域。海德漢光柵尺的光學掃描的測量基準都是周期刻線-光柵。這些光柵在玻璃或鋼材基體上。不得不說海德漢的光柵技術已經發揮到了極致。讓我們一起來數一數:

01、AURODUR:在鍍金鋼帶上蝕刻線條,典型柵距40 μm

02、METALLUR:抗污染的鍍金層金屬線,典型柵距20 μm

03、IADUR:玻璃基體的超硬鉻線(典型柵距20 μm)或玻璃基體的三維鉻線格柵(典型柵距8 μm)

04、OPTODUR相位光柵:光學三維平面格柵線條,超高反光性能,典型柵距不超過2 μm

  這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外,而且刻制的光柵線條邊緣清晰、均勻。這些邊緣清晰且極端均勻的刻線是輸出高質量信號的關鍵。再加上海德漢獨有的光電掃描技術以及絕對測量法,可以說這種精密測量“絕”了。

  絕對測量法是指編碼器通電時就立即提供位置值并隨時供后續信號處理電子電路讀取。無需移動軸執行參考點回零操作。絕對位置信息來自一系列絕對碼構成的光柵刻線。單獨的增量刻軌信號通過細分生成位置值,同時也能生成供選用的增量信號。

  不過,除了如上的光刻技術,我們今天還要跟大家分享的是海德漢子公司AMO 的感應式測量技術。主要是為客戶提供更多的測量技術解決方案。

  AMO編碼器的一些應用包括機床和其他相關的金屬板和金屬加工設備、醫療技術機器、印刷機、電子和半導體制造專用設備以及汽車和航空航天工業。

  AMO的重點是開發、制造和分銷基于感應傳感AMOSIN®運動控制反饋應用的線性和角度測量系統。感應傳感方法結合了光學編碼器的精度和磁編碼器的耐用特性。

直線測量

  AMO根據其獲得專利的感應測量原理提供了廣泛的感應線性測量系統,其精度和分辨率與光學編碼器相當,但具有IP 67保護的堅固性,線性編碼器對污染并不敏感,即使在惡劣環境中,精度和操作可以同樣保證有效。

角度測量

  AMO同樣根據其獲得專利的感應測量原理提供了廣泛的角度測量系統。絕對和增量測量系統可用于外部和內部測量。

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文本標簽:光柵測量
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